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Entre los mecanismos de crecimiento por los cuales se obtienen nanoestructuras con una gran cristalinidad y direcci´on de crecimiento controlada está el llamado crecimiento por vapor-líquido-sólido (VLS), que implica la condensación de material fuente de la fase gaseosa en una gotita de líquido catalizador (una partícula fundida de un metal, generalmente Au, sobre un substrato). Usualmente, los materiales utilizados para tal fin son poco atractivos por su elevado costo. Otro problema poco estudiado es la reproducibilidad de los resultados. En este trabajo, nos proponemos estudiar la factibilidad de utilizar materiales económicamente más convenientes como catalizadores para la producción industrial de nanohilos, y además los protocolos para asegurar la reproducibilidad de los resultados. Presentamos los resultados del crecimiento de nanohilos (NHs) de ZnO sobre SiO2/Si utilizando diferentes catalizadores met´alicos (Zn, Al, y Au). Los NHs fueron crecidos utilizando un horno tubular horizontal, en el cual se mantuvo un flujo controlado de una mezcla de Ar y O2 de alta pureza, lo cual permitía que el polvo fuente (ZnO y grafito en proporción 1:1) evaporado sea transportado y condensado sobre los sustratos convenientemente ubicados. En la preparación de los sustratos, se consideraron diferentes tiempos de deposición de sputtering DC de los blancos de Zn, Al, y Au de alta pureza. Luego, estos sustratos recibieron un recocido en atmósfera de Ar a una temperatura levemente inferior a la de su correspondiente temperatura de fusión, para lograr la formación de clusters catalizadores. Se estudió mediante las técnicas de SEM y EDS, la distribución y tamaño de partículas de los catalizadores sobre los sustratos y sus efectos sobre las características morfológicas y composicionales de los NHs.