INTEMA   05428
INSTITUTO DE INVESTIGACIONES EN CIENCIA Y TECNOLOGIA DE MATERIALES
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
EL EFECTO DE LA NITRURACION EN EL SENSADO DE HUMEDAD DE FILM DE CARBONO AMOR- FO HIDROGENADO.
Autor/es:
SILVA, LEONEL I.; DOBRY, A.; TORRES, S.; GÓMEZ, B; FRATTINI, G.; REPETTO, E.
Lugar:
Cordoba
Reunión:
Congreso; 106 Reunión de la Asociación Física Argentina; 2021
Resumen:
Estudiamos el efecto de nitrurar films de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H). Apuntamos a laspropiedades para sensar la humedad ambiente (RH) que tienen estos films. Los mismos fueron preparadosen dos etapas, combinando la técnica de deposición física en fase gaseosa (PAPVD) con la nitruraciónpor plasma. Deconvolucionando el espectro Raman identificamos dos picos correspondientes a los modosD y G, característicos del a-C:H. Después del tratamiento con un plasma de N2-H2 , los picos seangostan y se corren a la derecha, lo que asociamos a la incorporación de N en la estructura. Observamosque la sensibilidad a RH, medida por el cambio en la resistividad de baja frecuencia, mejora con lanitruración.Mediante espectroscopía de impedancias estudiamos la dependencia con la frecuencia de la conductividaden AC (σ(ω)). Antes de nitrurar el comportamiento pareciera ser universal y de la forma σ(ω) ∼ Aωs,análogo a lo observado en otros sistemas amorfos. El efecto de la humedad es cambiar la escala globalA. Al nitrurar, se aumenta y se vuelve dependiente de la humedad. Asociamos este comportamiento conel cambio en el mecanismo de interacción entre el sustrato y las moléculas de agua cuando la muestraes nitrurada.