Estudio teorico de un microcantilever piezo-optico tipo MEMS

N. V. GONZALEZ LEMUS; E. A. ALBANESI

Carlos Paz

Congreso; 96 Reunión AFA; 2012

AFA

En este trabajo se presenta un modelo teórico de una guía de onda rectangular basada en un microcantilever piezo-óptico tipo MEMS que consiste en 2 secciones de guía de onda  compuesta por un sistema In4Se3-In4Te3, una sección fija y una en forma de cantiléver dirigido mediante una placa piezoeléctrica de CdSe en la superficie. Los sistemas de tipo In(x)Se(1-x) e In(x)Te(1-x) en la actualidad son ampliamente utilizados en dispositivos electrónicos y en aplicaciones ópticas, debido a sus propiedades estructurales. Partiendo de las propiedades obtenidas en la caracterización a escala cuántica de estos materiales mediante métodos a primeros principios (propiedades electrónicas, ópticas, elásticas y piezoeléctricas), planteamos un modelo teórico y presentamos la descripción y análisis del funcionamiento del dispositivos MEMS mediante una simulación mutifísica empleando el método de elementos finitos (FEM) en el que se involucran por un lado la interacción entre campos eléctricos externos y de deformación, y por otra parte la respuesta óptica de los materiales.