Determinación del volumen de material extraído por ablación láser utilizando topografía óptica coherente

CERROTA S; E. MOREL; J. TORGA; F. C. ALVIRA; G. M. BILMES; D. J. O. ORZI,; GUTIERREZ M

Campana

Taller; Taller de Optica y Fotofisica 2014; 2014

En este trabajo se presentan resultados obtenidos por la técnica topografía óptica coherente (TOC), para determinar el volumen extraído luego de realizar una ablación láser sobre la superficie de una muestra metálica.   Para la medición se utiliza la señal de interferencia entre la luz reflejada en cada punto iluminado de la muestra y una superficie de referencia, en este caso un espejo ubicado en la otra rama del interferómetro. Capturando la señal de interferencia con un espectrómetro y utilizando la transformada de Fourier obtenemos información sobre la profundidad de la muestra. El dispositivo permite medir un volumen de un área máxima de 2.5 cm² y una profundidad máxima de 2 mm. Con una sensibilidad lateral de 5 µm y profundidad de 1 µm.