Máscara de sombra para deposición de pistas metálicas fabricada por micro-mecanizado con pulsos ultracortos

F. VIDELA; S.SUAREZ; A. DEMARCO; B. GOMEZ; G.A. TORCHIA

Bariloche

Conferencia; 98 Reunion Nacional de Fisica Argentina; 2013

En la última década, el micro-mecanizado con láser de pulsos ultracortos utilizado para la fabricación de micro-estructuras, ha mostrado un enorme crecimiento debido principalmente a la ausencia de los efectos térmicos que permiten una alta relación de aspecto en los trazos definidos con el láser. Además, teniendo en cuenta los efectos no lineales de la interacción, dada las altas intensidades alcanzadas en el volumen focal, pueden procesarse con esta técnica una gran cantidad de materiales. En este trabajo, presentamos máscaras de sombra micro-mecanizadas con pulsos de láser de fs, sobre una lámina de cobre.Con el fin de lograr pistas abiertas de alta performance, es decir, que presenten bordes suavesy perfectamente rectos, hemos optimizado los parámetrosde escritura: la velocidad y la energía de cada pulso láser. La máscarase registró en una película de cobrede 100 mm de espesor con una estación motorizada de posicionamiento 3D controlado con una PC. Un láser CPA (Chirped Pulse Amplification) basado en un cristal de Ti: Zafiro, con pulsos  100 fs ancho, 1 kHz de frecuencia de repetición y de hasta el1 de energía mJpor pulso se utilizó como sistema de escritura. Finalmente, se presentan resultados  preliminares de deposición  de tiras de plata  sobre obleas de silicio mediante la técnica sputtering utilizando la máscara de sombra obtenida en este trabajo.