INTEMA   05428
INSTITUTO DE INVESTIGACIONES EN CIENCIA Y TECNOLOGIA DE MATERIALES
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Experimentos y modelado del ataque químico en Si(100)
Autor/es:
C.M. ALDAO, M.P. SUÁREZ, D.A. MIRABELLA
Lugar:
Rosario
Reunión:
Congreso; 94 Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2009
Resumen:
El estudio de la morfología de superficies e interfaces y los procesos a nivel atómico involucrados en su conformación es un tema reciente y de relevancia tecnológica. Esto surgió gracias al desarrollo de técnicas de observación a nivel de átomos individuales y por el interés de disponer de films delgados con una morfología precisa y controlada. Hemos llevado a cabo diversos experimentos en Si(100), la superficie más utilizada en la fabricación de circuitos integrados. En particular, nos hemos focalizado en el ataque químico húmedo y seco del silicio. El ataque químico involucra la extracción de material y la consiguiente alteración de la morfología de la superficie. Sin embargo, se ha demostrado que una superficie también puede ser modificada por adsorbatos sin remoción de material, un proceso que aún no ha sido considerado con especial atención. La morfología de las superficies depende de un gran número de factores. Sin embargo, es deseable que quede determinada por unos pocos mecanismos básicos. Nuestro último objetivo es proveer una descripción de escala atómica de los fenómenos observados que testeamos con la ayuda del modelado con computadoras.