INTEMA   05428
INSTITUTO DE INVESTIGACIONES EN CIENCIA Y TECNOLOGIA DE MATERIALES
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Caracterización estructural de películas delgadas de titanio crecidas por arco catódico en función del espesor
Autor/es:
A. KLEIMAN; D. VEGA; A. MÁRQUEZ; M. FAZIO; D. COLOMBO
Lugar:
Buenos Aires
Reunión:
Conferencia; XVI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados; 2016
Resumen:
Las películas delgadas de titanio policristalino han sido ampliamente empleadas como intercapa entre sustratos y diferentes recubrimientos para mejorar la adhesión, la resistencia a la corrosión y el desgaste, y promover el crecimiento de fases cristalinas1. El espesor de la intercapa influye en el comportamiento del recubrimiento, sin embargo muy pocos estudios se han realizado sobre las propiedades de estos films en función de su espesor.En el presente trabajo se ha estudiado la estructura cristalina de películas delgadas de Ti crecidas por arco catódico sobre silicio monocristalino (100) y se ha encontrado una dependencia de la misma con respecto al espesor del film. Se ha observado la presencia de la fase FCC del Ti hasta un espesor crítico de 300 nm, valor mucho mayor al reportado para otros procesos de crecimiento2. A espesores mayores, se ha encontrado que las películas exhiben la fase α usual con una orientación preferencial en la dirección [100]. Estos resultados se condicen con un modelo de crecimiento basado en el ?matching? entre las estructuras cristalinas del film y el sustrato de silicio.